M-60 - это усовершенствованная модель сканирующего микроскопа, которая удовлетворяет различным целям анализа. Детектор SE (вторичных электронов) и детектор BSE (электронов с обратным рассеянием) можно устанавливать избирательно. Базовый этап состоит из трех (ручных) осей: X, Y, R. Вы можете изменить конфигурацию на пятиосный автоматический каскад с помощью дополнительные оси Z и Tilt при необходимости. Вы также можете изменить конфигурацию либо на настольный тип, либо на башенный (несущий) тип в зависимости от назначения и среды установки. Спецификации IM-60 SERIESMODELTYPEIM-60-SMIM-60-DMIM-60-SAIM-60-DAⅠ. Основныне параметры 1 ДетекторSESE+BSESESE+BSE2 Платформа (Storke)X,Y(40㎜), R(360˚)
3-осевая ручнаяX,Y(40㎜), R(360˚) 3-осевая ручнаяX,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованнаяX,Y(40㎜), R(360˚), Z (0~40㎜), Tilt(0~60˚) 5-осевая моторизованная3 Разрешение10 нм4 Ускоряющее напряжение5~30 кВ5 Увеличение20x~60,000x6 Макс размер образца80(D) x 40(H) ммⅡ. Электронная оптика 1Электронная пушкаВольфрамовая (W) нить накала2 Апертура(O.L)Одиночного типа3Сдвиг пучкаX.Y 100 мкм (±50)Ⅲ. Система изображений 1 Дисплей22 дюйм LCD2ФорматBMP,JPEG,PNG,TIFF3 OSWindows104 Режим сканирования320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×38405 АвтоматизацияАвтофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пистолета (с помощью катушки выравнивания)Ⅴ. Вакуум 1 Режим вакуумаВысокий вакуум2 Система насососвНачальный вакуум: роторный(100 л), Высокий вакуум: турбомолекулярный(80L) / Полная автоматизацияⅥ. Размеры 1 SEM480(W)x480(D)x1180мм, 90кг2 Роторный насос400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кгⅦ. Дополнительно 1 SEMCCD CAMERA(навигационный режим), Джойстик контроллер2 ОпцияНизкий вакуум, EDS, Охлаждение платформы, STEM детектор
