Сканирующий растровый электронный микроскоп SS-300 - это модель, предназначенная для исследования крупных образцов и наблюдения изображений поверхности при большом увеличении до 300,000х и разрешении 3 нм. В качестве анода используется либо вольфрамовая нить, либо нить LaB6. Функционал микроскопа расширяется с помощью множества различных функций.
Спецификация SS-300 SERIESМодельSS-300-SASS-300-DAⅠ. Характеристики 1 ДетекторSESE+BSE2 ПлатформаX,Y(50мм), R(360˚), Z (0~60мм), Tilt(-20~90˚)
5-осевая ручнаяX,Y(50мм), R(360˚), Z (0~60мм), Tilt(-20~90˚) 5-осевая моторизованная3 Разрешение3 нм4 Ускоряющее напряжение0.5~30 кВ5 Увеличение10x~300,000x6 Макс размер образца140(D) x 60(H) ммⅡ. Электронная оптика 1 Электронная пушкаВольфрамовый(W), LaB6 нить накала2 Апертура(O.L)Переменного типа (30/50/50/100 мкм)3 Сдвиг пучкаX.Y 100㎛ (±50)Ⅲ. Система изображений 1 Дисплей22 дюйм LCD2 ФорматBMP,JPEG,PNG,TIFF3 OSWindows104 Режим сканирования320×240,640×480,1280×960,2560×1280,5120×38405 АвтоматизацияАвтофокус, контрастность и яркость, стигматор, выравнивание пушки(с помощью катушки выравнивания)Ⅴ. Вакуум 1 Режим вакуумаВысокий вакуумВысокий + низкий вакуум2 НасосНачальный вакуум: роторный насос(100 л), Высокий вакуум: турбомолекулярный насос (80л) / Полная автоматизацияⅥ. Размеры 1 SEM746(W)x696(D)x1411мм, 250кг2 Rotary Pump400(W)x160(D)x340(H)мм, 24кгⅦ. Дополнительно 1 SEMCCD CAMERA(Navigation mode), Chamber CAMERA, Analysis Joystick Controller2 ОпцияEDS, WDS, EBSD, CL(Cathodoluminescent) Image, Cooling Stage, STEM Detector
