ПунктДеталиРентгеновская трубкаМишень Mo / Rh / W / Ag (опция), 50 кВп, 1 мАСистема обнаруженияFSDD (Быстрый кремниевый детектор тяги)Разрешение энергииДетектор типа Si (FSDD) 122 эВ на полувысоте при Mn KαКоллиматорПоликапиллярная оптика (Focal Spot 15um / 30um) FWHMЭлемент обнаруженияTi (22) ~ U (92)Тип образцаШирокая печатная платаРазмер оборудования2600 X 1350 X 2050 мм (Ш x Г x В) 415 X 510 мм PCB / 810 X 610 мм PCBИзмеряемый размер печатной платы415X510 мм 610X510 мм 810X610 мм (Ш × Г) ПолезностьПитание: однофазное 220 В, 4 кВт Давление воздуха: 5 кгс Ключевая особенностьОбщее измерение толщины покрытия, Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni Измерение толщины многослойных тонких пленок (до 5 слоев) Увеличение камеры40 ~ 80 хУстройство защиты от радиоактивностиУстройство отключения автомата 3Тип отчетаExcel, PDF / вывод Пользовательская форма Ключевые преимуществаИзмерение толщины многослойных тонких пленок (до 5 слоев) Удобное управление сценой Возможно многоточечное измерение ПрименениеENIG, ENEPIG, HDI Электронная плата (PCB) Анализ точного содержания при измерении толщины покрытия
